Подробное описание документа

Статья

Применение имплантации ионов кислорода и процесса твердофазной рекристаллизации для улучшения кристаллической структуры кремния на сапфире / Александров П. А., Демаков К. Д., Шемардов С. Г., Кузнецов Ю. Ю. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 3. - С. 54-56.