Подробное описание документа
Статья
Васин В. А.
Функциональные устройства вакуумного оборудования электронного машиностроения на основе привода управляемой упругой деформации / Васин В. А. // Технология машиностроения. - 2008. - № 7. -
621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 40-46
Журнал
Технология машиностроения.
№ 7. - 2008.
№ 7. - 2008.