Подробное описание документа

Ковтонюк Н. Ф., Концевой Ю. А.
   Измерения параметров полупроводниковых материалов / Ковтонюк Н. Ф., Концевой Ю. А. - М. : Металлургия, 1970. - 428 с. : ил. - Библиогр.: с. 412-428.

Аннотация

В книге приведены методы исследования основных физических свойств полупроводников и методы контроля качества полупроводниковых материалов. Рассмотрены физические основы методов измерений, а также вопросы их экспериментального осуществления. Подробно описаны различные способы измерения удельного сопротивления, концентрации и подвижности носителей заряда, методы исследования параметров неравновесных носителей заряда в полупроводниках, а также методы исследования поверхностных свойств полупроводников. Уделено внимание методам контроля качества слитков, пластин, полупроводников, полученных в виде монокристаллов или поликристаллов. Особый раздел посвящен методам исследования полупроводниковых эпитаксиальных пленок.

УДК

621.315.592 Полупроводники

Предметные рубрики

• Полупроводники - Методы исследования

Общее кол-во в фондах

2 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313