Подробное описание документа

   Проектирование технологических процессов изготовления интегральных микросхем : учеб. пособие / МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2000.
   Ч. 1 : Технология изготовления подложек интегральных микросхем / Шульга В. Г., Данилов И. И. - 2000. - 34 с. : ил. - Библиогр.: с. 34.

Читать онлайн Аннотация

Представлена общая характеристика технологического процесса изготовления полупроводниковых подложек для производства интегральных микросхем. Изложены основные закономерности и особенности выполнения каждой операции технологического процесса.
Для студентов 3-го и 4-го курсов приборостроительных специальностей.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Проектирование - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л