Подробное описание документа
Статья
Васин В. А.
Новые направления в проектировании вакуумного оборудования высоких технологий / Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. // Справочник. Инженерный журнал. - 2008. - № 6. -
621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц