Подробное описание документа

   Статья

Латышев А. В.
   Диагностика и литография полупроводниковых структур для наноэлектроники / Латышев А. В. // Российские нанотехнологии. - 2008. - Т. 3, № 5-6. - С. 78-96.

УДК

539.2 Свойства и структура молекулярных систем

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 78-96

   Журнал

   Российские нанотехнологии.
   Т. 3, № 5-6. - 2008.

подробнее