Подробное описание документа

Гаврилов С. А., Белов А. Н.
   Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие для вузов / Гаврилов С. А., Белов А. Н. - М. : Высшее образование, 2009. - 257 с. : ил. - (Основы наук). - Библиогр.: с. 256-257. - ISBN 978-5-9692-0304-4.

Изложены основы электрохимических процессов,применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.
Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Для студентов, обучающиxся по cnециальностям 210100 "Электроника и микроэлектроника", 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника (бакалавр)",а также для аспирантов, научных работников и инженеров.

УДК

621.3.049.76 Миниатюризация и микроминиатюризация. Цепи с дискретными элементами и компонентами. Микромодули. Модули Кордвуда

Предметные рубрики

• Микроэлектронные приборы

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313