Подробное описание документа

   Оборудование ионной имплантации / Симонов В. В., Корнилов Л. А., Шашелев А. В., Шокин Е. В. - М. : Радио и связь, 1988. - 182 с. : рис., табл. - Библиогр.: с.179-181. - ISBN 5-256-00007-1.

Аннотация

Систематизированы сведения о свойствах, параметрах и устройствах современного оборудования ионной имплантации. Рассматриваются физические явления, положенные в основу действия имплантационных установок. Приведены классификация и требования, предъявляемые к оборудованию и отдельным его подсистемам. Изложены принципы автоматизации оборудования.
Для инженерно-технических работников, специализирующихся в области применения и разработки оборудования ионной имплантации.

УДК

621.793.184 Ионное осаждение

Предметная рубрика

• Ионное внедрение - Оборудование

Общее кол-во в фондах

4 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Заявка на закупку

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313