Подробное описание документа

   Статья

Красников Г. Я., Орлов О. М.
   Отличительные особенности и проблемы КМОП-технологии при уменьшении проектной нормы до уровня 0, 18 мкм и меньше / Красников Г. Я., Орлов О. М. // Российские нанотехнологии. - 2008. - Т. 3, № 7-8. - С. 124-128.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 124-128

   Журнал

   Российские нанотехнологии.
   Т. 3, № 7-8. - 2008.

подробнее