Подробное описание документа

Марголин В. И., Жабрев В. А., Тупик В. А.
   Физические основы микроэлектроники : учебник для вузов / Марголин В. И., Жабрев В. А., Тупик В. А. - М. : Академия, 2008. - 398 с. : ил. - (Высшее профессиональное образование. Радиоэлектроника). - Библиогр.: с. 395. - ISBN 978-5-7695-4227-5.

Аннотация

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.
Для студентов высших учебных заведений.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Микроэлектроника - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

11 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд. 345, ГУК, ауд. 345
5. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
6. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313