Подробное описание документа

Марголин В. И., Жабрев В. А., Тупик В. А.
Физические основы микроэлектроники : учебник для вузов / Марголин В. И., Жабрев В. А., Тупик В. А. - М. : Академия, 2008. - 398 с. : ил. - (Высшее профессиональное образование. Радиоэлектроника). - Библиогр.: с. 395. - ISBN 978-5-7695-4227-5.

Аннотация

Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.
Для студентов высших учебных заведений.

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

Микроэлектроника - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах
11 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345