Подробное описание документа
Статья
Васин В. А.
Тенденции проектирования внутрикамерных вакуумных системм в электронном машиностроении / Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В. // Вестник машиностроения. - 2008. - № 9. -
621.38 Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы. Трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц