Подробное описание документа

   Измерение и коррекция формы оптических элементов с субнанометровой точностью / Клюенков Е. Б., Пестов А. Е., Полковников В. Н., Раскин Д. Г., Торопов М. Н., Салащенко Н. Н., Чхало Н. И. // Российские нанотехнологии. - 2008. - Т. 3, № 9-10. - С. 116-124.

УДК

681.787 Интерферометрические приборы

Статья опубликована в следующих изданиях