Подробное описание документа

   Статья

Дорошевич В. К.
   Требования к обеспечению качества и управлению технологическим процессом изготовления микросхем / Дорошевич В. К. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 6. - С. 26-28.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 26-28

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 6. - 2008.

подробнее