Подробное описание документа
Статья
Мухуров Н. И.
Анализ электромеханических параметров электростатических микрореле с автономными держателями / Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 6. -
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника