Подробное описание документа

Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П.
   Анализ электромеханических параметров электростатических микрореле с автономными держателями / Мухуров Н. И., Ефремов Г. И., Жвавый С. П. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 6. - С. 28-32.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях