Подробное описание документа

   Статья

   Современные разработки МЭМС / Яшин К. Д., Осипович В. С., Божко Т. Г., Логин В. М. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 5. - С. 57-64.

УДК

621.37/.39

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 57-64

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 5. - 2008.

подробнее