Подробное описание документа

   Современные разработки МЭМС / Яшин К. Д., Осипович В. С., Божко Т. Г., Логин В. М. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 5. - С. 57-64.

УДК

621.37/.39

Статья опубликована в следующих изданиях