Подробное описание документа

Дорошевич В. К.
   Методы статистического контроля технологического процесса изготовления микросхем и порядок их применения / Дорошевич В. К. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 7. - С. 13-14.

УДК

621.3 Электротехника

Статья опубликована в следующих изданиях