Подробное описание документа
Статья
Спирин В. Г.
Сопротивление электродов тонкопленочного резистора / Спирин В. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 7. -
621.3.049.776 Гибридные интегральные схемы
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 19-24
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 7. - 2008.
№ 7. - 2008.