Подробное описание документа

Теплова Т. Б.
   Физико-технологические принципы получения нанометрового рельефа поверхности при обработке твердых хрупких материалов электронной техники / Теплова Т. Б. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 7. - С. 33-37.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях