Подробное описание документа

Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е.
   Повышение термостойкости тонкопленочных емкостных МЭМС-структур / Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 7. - С. 41-44.

УДК

681.2 Приборостроение. Измерительная техника. Весы

Статья опубликована в следующих изданиях