Подробное описание документа

Матвеев В. В., Распопов В. Я.
   Выбор ориентации топологии микрогироскопа на пластине монокристаллического кремния / Матвеев В. В., Распопов В. Я. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 7. - С. 44-47.

УДК

531.383 Теория гироскопических приборов

Статья опубликована в следующих изданиях