Подробное описание документа

Статья

Современные тенденции развития микросистемной техники / Вернер В. Д., Мальцев П. П., Резнев А. А., Сауров А. Н., Чаплыгин Ю. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 8. - С. 2-6.