Подробное описание документа
Статья
Современные тенденции развития микросистемной техники / Вернер В. Д., Мальцев П. П., Резнев А. А., Сауров А. Н., Чаплыгин Ю. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 8. -
621.3 Электротехника