Подробное описание документа
Статья
Радиационная стойкость наноструктур // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 9. -
539.23 Получение тонких слоев, тонких пленок
Радиационная стойкость наноструктур // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 9. -
539.23 Получение тонких слоев, тонких пленок