Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Статья

   Радиационная стойкость наноструктур // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 9. - С. 2-11.

539.23 Получение тонких слоев, тонких пленок

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 2-11
   Журнал
   Нано- и микросистемная техника.
   № 9. - 2008.