Подробное описание документа

Малов И. Е., Шиганов И. Н.
   Лазерные технологии в электронном машиностроении : учеб. пособие / Малов И. Е., Шиганов И. Н. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2008. - 21 с. : ил. - Библиогр. в конце брош.

Читать онлайн

Скачать документ

Электронная версия, предоставленная издательством

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/1877/

Аннотация

Дано общее представление о процессах лазерной обработки полупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазерные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, процессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обработки и маркировки тонких пленок.
Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология».

УДК

621.9.048.7 Электроннолучевая обработка и обработка лучами других элементарных частиц

Предметные рубрики

• Лазеры - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313