Подробное описание документа
Статья
Дорошевич В. К.
Рекомендации к построению и содержанию нормативной документации предприятий по статистическому контролю и регулированию технологических процессов микросхем / Дорошевич В. К. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 9. -
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы