Подробное описание документа
Статья
Белозубов Е. М.
Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с возможностью измерения температур электродов / Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Козлова Ю. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 9. -
621.3 Электротехника