Подробное описание документа

Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Козлова Ю. А.
   Тонкопленочные емкостные МЭМС-структуры с возможностью измерения температур электродов / Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Козлова Ю. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 9. - С. 33-36.

УДК

621.3 Электротехника

Статья опубликована в следующих изданиях