Подробное описание документа

Статья

Ефремов Г. И., Мухуров Н. И.
Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаров / Ефремов Г. И., Мухуров Н. И. // Нано- и микросистемная техника. - 2008. - № 9. - С. 40-44.

УДК
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 40-44

Журнал

Нано- и микросистемная техника.
№ 9. - 2008.

подробнее