Подробное описание документа

   Основы автоматизации техпроцессов : учеб. пособие для вузов / Щагин А. В., Демкин В. И., Кононов В. Ю., Кабанова А. Б. - М. : Высшее образование, 2009. - 162 с. : ил. - (Основы наук). - Библиогр. в конце кн. - ISBN 978-5-9692-0251-1.

Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей,используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных.
Для студентов,обучающихся по специальностям 220201(210100) "Управление и информатика в технических системах" (специалист), 210104(200100) "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (специалист),21О1О7(200500) "Электронное машиностроение" (специалист), 220301 (210200) "Автоматизация технологических процессов и производств (по отраслям)" (специалист), 210100(550700) "Электроника и микроэлектроника" (бакалавр), 220200(550200) "Автоматизация и управление" (бакалавр) и может быть полезно аспирантам, научным работникам и инженерам.

3 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Абонемент научной литературы ГУК, ГУК, ауд. 313
  2. Абонемент научной литературы УЛК, УЛК, ауд. 221л
  3. Читальный зал младших курсов №1, УЛК, ауд. 305л
  4. Читальный зал младших курсов №2, УЛК, ауд. 221л
  5. Читальный зал старших курсов, ГУК, ауд. 313