Подробное описание документа

   Основы автоматизации техпроцессов : учеб. пособие для вузов / Щагин А. В., Демкин В. И., Кононов В. Ю., Кабанова А. Б. - М. : Высшее образование, 2009. - 162 с. : ил. - (Основы наук). - Библиогр. в конце кн. - ISBN 978-5-9692-0251-1.

Аннотация

Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей,используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных.
Для студентов,обучающихся по специальностям 220201(210100) "Управление и информатика в технических системах" (специалист), 210104(200100) "Микроэлектроника и твердотельная электроника" (специалист),21О1О7(200500) "Электронное машиностроение" (специалист), 220301 (210200) "Автоматизация технологических процессов и производств (по отраслям)" (специалист), 210100(550700) "Электроника и микроэлектроника" (бакалавр), 220200(550200) "Автоматизация и управление" (бакалавр) и может быть полезно аспирантам, научным работникам и инженерам.

УДК

658.52:331.103.255

Предметные рубрики

• Автоматизированные системы управления технологическими процессами - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

3 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313