Подробное описание документа

Мустафаев Г. А., Мустафаев А. Г.
   Разработка процесса формирования глубокой изоляции структур кремний на изоляторе / Мустафаев Г. А., Мустафаев А. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 1. - С. 30-32.

УДК

621.382.3 Полупроводниковые триоды (транзисторы)

Статья опубликована в следующих изданиях