Подробное описание документа

   Исследование упругих и фрикционных свойств субмикронных слоев кремния на сапфире / Шиляев П. А., Павлов Д. А., Коротков Е. В., Треушников М. В., Кривулин Н. О. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 1. - С. 32-34.

УДК

539.23 Получение тонких слоев, тонких пленок

Статья опубликована в следующих изданиях