Подробное описание документа

   Статья

   Исследование упругих и фрикционных свойств субмикронных слоев кремния на сапфире / Шиляев П. А., Павлов Д. А., Коротков Е. В., Треушников М. В., Кривулин Н. О. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 1. - С. 32-34.

УДК

539.23 Получение тонких слоев, тонких пленок

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 32-34

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 1. - 2009.

подробнее