Подробное описание документа
Статья
Адамов Д. Ю.
Элементная база нанометровых КМОП-микросхем / Адамов Д. Ю., Матвеенко О. С. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 1. -
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника