Подробное описание документа

   Микровибрации конструкций капитальных строений как источник возобновляемой энергии для МЭМС-генератора / Соболев В. С., Косцов Э. Г., Щербаченко А. М., Уткин Е. Н., Харин А. М. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 1. - С. 42-47.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях