Подробное описание документа
Статья
Вопилкина Е. А.
Возможности микроэлектромеханических систем / Вопилкина Е. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 1. -
623.544 Экспериментальные приборы и оборудование
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 47-50
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 1. - 2009.
№ 1. - 2009.