Подробное описание документа

   Статья

Вопилкина Е. А.
   Возможности микроэлектромеханических систем / Вопилкина Е. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 1. - С. 47-50.

УДК

623.544 Экспериментальные приборы и оборудование

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 47-50

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 1. - 2009.

подробнее