Подробное описание документа

Колпаков А. Я., Дручинина О. А., Харченко В. А.
   Влияние облучения ионами азота и нанесения наноразмерного углеродного покрытия на микротвердость и трещиностойкость кремния / Колпаков А. Я., Дручинина О. А., Харченко В. А. // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, т. 3-4. - С. 72-75.

УДК

538.975 Физика тонких пленок, нитевидных кристаллов и дендритов

Статья опубликована в следующих изданиях