Подробное описание документа
Статья
Чащухин В. Г.
Сухой адгезионный материал для схватов в микроэлектронике / Чащухин В. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 2. -
621.22.011 Вопросы, связанные с механикой, например свойства материалов, применяемых для гидравлических машин. Расчет на прочность
Статья опубликована в следующих изданиях
с. 13-18
Журнал
Нано- и микросистемная техника.
№ 2. - 2009.
№ 2. - 2009.