Подробное описание документа
Статья
Чащухин В. Г.
Сухой адгезионный материал для схватов в микроэлектронике / Чащухин В. Г. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 2. -
621.22.011 Вопросы, связанные с механикой, например свойства материалов, применяемых для гидравлических машин. Расчет на прочность