Скачать документ
Полнотекстовый документ
Русанов А. В.
Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : автореф. дис... ктн : 05. 27. 06 / Русанов А. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2009. - 16 с.
621.52 Разрежение воздуха и газов. Вакуумная техника. Воздушные насосы. Вакуумные насосы2 экз.