Подробное описание документа

   Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и нанофотоники): материалы XV Междунар. научно-техн. конференции, Москва, 9-11 сентября 2009 г. Тонкие пленки в электронике : материалы XXII Междунар. симпозиума, Москва, 9-11 сентября 2009 г. : сборник / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Центральный научно-исследовательский технологический институт "Техномаш". - М. : ЦНИТИ "Техномаш", 2009. - 535 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-902740-19-3.

В настоящем сборнике публикуются материалы докладов ХV Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности Россию) (Материалы и устройств функциональной электроники и микрофотоники) и ХХII Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике» по следующим направлениям: нанотехнология - инженерные проблемы и подготовка кадров; материалы, оборудование и технологии наноэлектроники и микрофотоники; новые технологии производства, обработки и исследования наноструктурированных материалов; системы и устройства радиотехники и средств связи; технологии и оборудование для производства приборов электронной техники и радиоэлектронных устройств; получение, свойства и применение тонких плёнок в электронике; слоистые структуры на основе тонких пленок; методы контроля функциональных свойств материалов электронной техники, измерительная аппаратура и аналитические методы; моделирование и информационное обеспечение исследований.
В материалах конференции и симпозиума приводятся новые результаты теоретических и экспериментальных исследований,проведенных авторами в последнее время. Сборник рассчитан на специалистов в таких областях,как тонкие пленки и наноструктурированные материалы, твердотельная электроника и микромеханика, наноэлектроника и микрофотоники, электронные технологии и вакуумное технологическое оборудование. Опубликованные материалы особенно полезны молодым ученым, аспирантам и студентам,специализирующимся в указанных направлениях.
Посвящается 70-летию специальности «Электронное машиностроение» в России.