Подробное описание документа
Техническая механика микросистем : учебное пособие для вузов / Тимофеев В. Н., Погалов А. И., Угольников С. В. [и др.] ; ред. Тимофеев В. Н. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009. - 176 с. : ил. - Библиогр.:
Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала,что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам.
Предназначено для студентов старших курсов,обучающихся по направлениям (специальностям) "Микросистемная техника" и "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.
681.2 Приборостроение. Измерительная техника. Весы124 экз.
- Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.345, ГУК, ауд. 345