Подробное описание документа

Рощин В. М., Силибин М. В.
   Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учеб. пособие для вузов / Рощин В. М., Силибин М. В. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - ISBN 978-5-94774-913-7.
   Ч. 2. - 2010. - 179 с. : ил. - Библиогр. в конце кн. - ISBN 978-5-94774-910-6.

Аннотация

Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов.
Для студентов,обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника". Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.

УДК

621.3.049.77:620.22

Предметные рубрики

• Электронные материалы - Учебники и пособия
• Наноструктурные материалы - Учебники и пособия

Общее кол-во в фондах

13 экз.

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд. 345, ГУК, ауд. 345
5. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
6. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313