Подробное описание документа

   Статья

Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев В. А.
   Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе / Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев В. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 2. - С. 33-39.

УДК

621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 33-39

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   № 2. - 2009.

подробнее