Подробное описание документа

Статья

Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев В. А.
Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе / Белозубов Е. М., Белозубова Н. Е., Васильев В. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 2. - С. 33-39.

УДК
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 33-39

Журнал

Нано- и микросистемная техника.
№ 2. - 2009.

подробнее