Подробное описание документа

Балыкин В. И., Мелентьев П. Н.
   Нанолитография методами атомной оптики / Балыкин В. И., Мелентьев П. Н. // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 7-8. - С. 68-85.

УДК

620.3 Нанотехнология

Статья опубликована в следующих изданиях