Подробное описание документа

Яфаров Р. К.
   Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Яфаров Р. К. - М. : Физматлит, 2009. - 216 с. : ил. - Библиогр.: с. 205-216. - ISBN 978-5-9221-1150-8.

Читать онлайн

Лань

Войти и читать

https://e.lanbook.com/book/59533

Университетская библиотека онлайн

Войти и читать

https://biblioclub.ru/index.php?page=boo…

Аннотация

В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы.
Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.

УДК

621.385.6:533.9

Предметные рубрики

• Электроника сверхвысоких частот
• Плазма (физ.)

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
3. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
4. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313