Подробное описание документа

   Исследование самоорганизации высокоупорядоченных нанокластеров германия при осаждении пленок поликристаллического кремния, легированного германием / Ковалевский А. А., Строгова А. С., Плякин Д. В., Борисевич В. М. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 4. - С. 14-19.

УДК

621.315.5 Проводники и полупроводники по виду материала

Статья опубликована в следующих изданиях