Подробное описание документа

Егоров В. В.
   Влияние микронеровностей поверхности на характеристики изображений в оптических прецизионных измерителях. Скалярное приближение. Часть II. / Егоров В. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 4. - С. 26-31.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Статья опубликована в следующих изданиях