Подробное описание документа
Статья
Карташев В. А.
Исследование автономных подвижных микросистем методом подобия / Карташев В. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 4. -
621.382 Электронные элементы, использующие свойства твердого тела. Полупроводниковая электроника