Подробное описание документа
Статья
Огородникова О. М.
Компьютерное исследование компонентов микросистемной техники / Огородникова О. М., Панин О. А. // Нано- и микросистемная техника. - 2009. - № 5. -
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы