Подробное описание документа

   Технология микросистемной техники : учеб. пособие : в 3 ч. / Нарайкин О. С., Холевин В. В., Данилов И. И., Шалаев В. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2010.
   Ч. 1 : Методы микрообработки. - 2010. - 36 с. : ил. - Библиогр.: с. 36.

Читать онлайн

Скачать документ

Электронная версия, предоставленная издательством

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

https://press.bmstu.ru/catalog/item/1694/

Аннотация

Рассмотрены современные методы микрообработки,применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем.
Для студентов 5-6-го курсов приборостроительных специальностей.

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

• Интегральные схемы - Производство - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Нарайкин Олег Степанович
• Холевин Владимир Викторович
• Данилов Игорь Иванович

Общее кол-во в фондах

16 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
5. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313