Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Технология микросистемной техники : учеб. пособие : в 3 ч. / Нарайкин О. С., Холевин В. В., Данилов И. И., Шалаев В. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2010.
   Ч. 1 : Методы микрообработки. - 2010. - 36 с. : ил. - Библиогр.: с. 36.

Скачать документ
Электронная версия, предоставленная издательством
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана

Рассмотрены современные методы микрообработки,применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем.
Для студентов 5-6-го курсов приборостроительных специальностей.

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы
16 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Абонемент старших курсов, ГУК, ауд. 213
  2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
  4. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
  5. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313