Подробное описание документа
Статья
Рогачев А. А.
Особенности формирования наноразмерных фторполимерных пленок из газовой фазы на начальной стадии роста / Рогачев А. А., Лучников П. А., Рогачев А. В. // Наноматериалы и наноструктуры. - 2010. - Т. 1, № 1. -
539.216.2 Пленки. Тонкие пленки