Подробное описание документа

   Формирование сегнетоэлектрических наноструктур для нового поколения устройств микро-и наноэлектроники / Воротилов К. А., Сигов А. С., Романов А. А., Машевич П. Р. // Наноматериалы и наноструктуры. - 2010. - Т. 1, № 1. - С. 45-53.

УДК

620.3 Нанотехнология

Статья опубликована в следующих изданиях