Подробное описание документа
Статья
Якупов Н. М.
Методология исследования механических свойств тонких пленок и нанопленок / Якупов Н. М., Нуруллин Р. Г., Якупов С. Н. // Вестник машиностроения. - 2009. - № 6. -