Подробное описание документа

Автореферат диссертации

Родионов И. А.
Разработка литографических процессов изготовления сбис с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореф. дис... ктн : 05. 11. 14 / Родионов И. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2010. - 16 с.

Читать онлайн

Скачать документ

Полнотекстовый документ

УДК
621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметные рубрики

Интегральные схемы большие - Диссертации

Общее кол-во в фондах
2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л