Подробное описание документа

   Автореферат диссертации

Родионов И. А.
   Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : автореф. дис... ктн : 05.11.14 / Родионов И. А. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - Москва, 2010. - 16 с.

Читать онлайн

Скачать документ

Полнотекстовый документ

УДК

621.3.049.77 Микроэлектроника. Интегральные схемы

Предметная рубрика

• Интегральные схемы большие - Диссертации

Общее кол-во в фондах

2 экз.

Заказать на абонемент

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.221л, УЛК, ауд. 221л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л